清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開(kāi)始，人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果。時(shí)至，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無(wú)油真空泵當(dāng)中，無(wú)油真空泵與其他種類的無(wú)油真空泵相比具有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)。
    無(wú)油真空泵的盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋形成一個(gè)型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜盤與一個(gè)動(dòng)盤組成的一對(duì)盤付構(gòu)成了無(wú)油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級(jí)無(wú)油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定盤，一個(gè)位于兩個(gè)盤之間的轉(zhuǎn)動(dòng)盤。動(dòng)、靜盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。眾所周知，無(wú)油真空泵與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn)。
    真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)是間隙曉、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的陋力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮腔容積的變化市連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。