雙級(jí)無油真空泵：一般粘性流態(tài)時(shí)泵的抽速比分子流態(tài)時(shí)的抽速高。選這種徑向流抽氣單元作為泵的低壓段抽氣。周向流抽氣單元如圖10 所示, 它可作為該泵的高壓段抽氣, 氣體不斷得到旋轉(zhuǎn)葉輪給予的動(dòng)量, 通過壓縮, 壓力能增加幾倍。周向流抽氣單元在粘性流態(tài)時(shí)有較高的壓縮比, 比相同速度的徑流抽氣單元的壓縮比高得多, 這種抽氣單元僅在粘性流態(tài)時(shí)有高的壓縮比, 在低于103Pa 的過渡流內(nèi), 其壓縮比會(huì)隨入口壓力的下降而降低。而且這時(shí)比徑向抽氣單元的壓縮比還低。周向流抽氣單元的壓縮比隨葉輪的圓周速度增加而提高。葉輪達(dá)到音速時(shí)壓縮比有值。故在粘性流范圍選用這種周向流抽氣單元。（雙級(jí)無油真空泵